建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場(chǎng)分析和內(nèi)部場(chǎng)分析 CoKj'jA 工具箱：光柵工具箱 cr=FMf hB 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場(chǎng)分析 內(nèi)部場(chǎng)分析 iJynR [7 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： GmEJ,% A 圖1：光柵參數(shù)示意圖 `hQ!*f6
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 %+j]vP
;?Y ` e 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) ngH~4HyT (1)
V+"*A (2)
}IalgQ(i (3) $M8> SLd
圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 QVZ6;/
2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 VEdnP +D
q[,R%6&' 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 zdpLAr
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過(guò)添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 T\b";+!W
]@j"0F/` (1)
(
_ F 
(2) w|UKMbRMU]
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 S tp*JU
4) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(dòng)(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 r+W 8m?oi
9 %.<V_$ 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖 V
n!az}
5) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： jP7+s.j>
"'p +qbT8 (1) 通過(guò)點(diǎn)擊添加數(shù)據(jù)(Add Datum)增加轉(zhuǎn)變點(diǎn)(transition points)，并給該點(diǎn)對(duì)應(yīng)的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值，以形成所需轉(zhuǎn)變點(diǎn)序列。 eMP Q|
W
7<C~D,x6 (2) 按照?qǐng)D6(2)所示設(shè)置所有轉(zhuǎn)變點(diǎn)，然后將插值方法(Interpolation Method)設(shè)置為常量區(qū)間(Constant Interval)。將橫向區(qū)域上限(Upper Limit)設(shè)置為2 μm，并設(shè)置大小與形狀(Size and Shape) 為2 μm x 2μm 長(zhǎng)方形(Rectangular)。 Lq8Z!AIw>
; hRpAN (3) 進(jìn)入周期化標(biāo)簽(Periodization)，選擇使用周期化設(shè)置(Use Periodization)，并將周期設(shè)置為2 μm x 2μm。可觀察到z-方向，即高度方向最小值(Boundary Minimum)為-800 nm。 />j+7ts \kJt@ [w% (1)
,+5VeRyrV x2IU PM 
(2)
(3)
圖6：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟5)示意圖 fylA 0{
6) 將平面與矩形光柵界面距離設(shè)置為0，矩形光柵界面（光柵一）與轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面（光柵二和三）之間的距離設(shè)置為800 nm，并將堆棧周期(Stack Period)設(shè)置為2 μm，如下圖所示： 2KNKdV3NK
*U^\Mwp 圖7：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟6)示意圖
`]
