建模目的:如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合,以構建復雜結構光柵,并進行近場分析和內部場分析 cl1h;w9s 工具箱:光柵工具箱 <d$|~qS_ 關鍵詞:矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 Bz9!a k~4 組合光柵結構參數(shù): M<~z=B# 圖1:光柵參數(shù)示意圖 noOG$P#
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 ^C_Y[i
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yYp!s 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) "ln(EvW (1)
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圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟1)示意圖 !m'lOz
2) 雙擊 ,進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。
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,~JxYh 圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟2)示意圖 V
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3) 進入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 (Pbdwzao
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圖4:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟3)示意圖 K82pWpR
4) 點擊 ,進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface),輸入光柵一的結構參數(shù),并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm,如下圖所示 ,N?~je.
+0;6.PK 圖5:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟4)示意圖 3/@7$nV
5) 點擊 ,進入轉變點列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface),輸入光柵二和光柵三兩種光柵結構參數(shù): MU<Y,4/k
*y='0)[BD (1) 通過點擊添加數(shù)據(Add Datum)增加轉變點(transition points),并給該點對應的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值,以形成所需轉變點序列。 i~M