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摘要 .o6Or:L DcS+_>a\{l j}#w)M ,=uD^n: 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學測量儀器,常用于高精度的光學表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。 XMCXQs& w$>u b@=
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