1. 描述 /-)\$T1d ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 L\)ssOuh ■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 eme7y ■ 此外,VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 U,Ya^2h%
SKt&]H 2. 系統(tǒng) iqm]sC` w{l}(:xPp 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D^8]+2r 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 n]^zIe^6
SEa'>UG
■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 (3~h)vaJ
■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 ],#Xa.r
■ 每一個可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 S-l<+O1fy
■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 .\XFhOsa
gb+iy$o- !Hq$7j_ 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) A!B:vJ yuIy?K #t
N9#w[K{
■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。 pURtk-Fr2
■ 可以選擇選取光線的方法: >G7dw1;
— 在x-y-網(wǎng)格 >-U'mkIH
— 六邊形 K!W7a~
@
— 自由選取 s^f7w
■ 每一個可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 IAyyRl\ kNq>{dNRx 5. 系統(tǒng)的3維視圖 wW &q)WOi ?='2@@8; !r\u,l^ 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) W]Bc7JM]T+ ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 ]R%[cr ■ 照明波長266.08nm tVfZ~qJ ■ 后端的探測器用來分析透鏡系統(tǒng)的性能: s&v7<)*q — 一個虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 tb$I8T — 一個虛擬屏位于焦平面 NM
FgCL — 光束尺寸探測器置于焦平面 de7
\~$ ■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。 J9aqmQj(' 0zQ~'x 1 S<E=7 Q1kZ+b& eX`wQoV% 7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果 z)tULnR8 +O$`8a)m 光線經(jīng)過整個光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖
v']Tusmg 光線經(jīng)過整個光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖(局部放大)
S\76`Ot Q|KD$2rB \/XU v( "L4ZE4|) /
R-1s Jb/VITqN4 8. 透鏡系統(tǒng)后虛擬屏的結(jié)果 &/m0N\n?
^%5;Sc1V G*s5GG@Z.
■ VirtualLab可用于計(jì)算點(diǎn)列圖。 -%fc)y&$
■ 左側(cè)圖片顯示了直接位于透鏡后的虛擬屏所獲得的點(diǎn)列圖。 \jmT#Gt`9
■ 默認(rèn)情況下光線顯示的顏色比此波長的顏色。本案例中我們使用的是非可見光。 / jLb{Ky
■ 你可以通過下面的操作將背景顏色該為白色 5J-slNNCQ
v[~~q 9. 焦平面上的結(jié)果 h
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