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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） dmkd.aP4  
    pDg_^|  
    應(yīng)用案例概述     V?*\ISB`}  
    1sT%g}w@|  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) 2W_p)8t> b  
    zL<<`u?  
    光源 P e\AH  
    – 綠光二極管 Z.]=u(=a  
    元件 )O~V3a  
    – 雙軸振鏡掃描儀 )t-Jc+*A>  
    – F-Theta物鏡 Q0\tK=Z/  
    探測器 fuQb h  
    – 場曲和畸變探測器 SX4"HadV>  
    – 光束強度剖面探測器 dcGs0b  
    – 焦點區(qū)域探測器 APC,p,"  
    – 光束參數(shù)探測器 covr0N)  
    模擬/設(shè)計 *61+Fzr  
    – 光線追跡：分析掃描場尺寸，場曲以及畸變 DD4fV`:kG  
    – 場追跡：考慮衍射效應(yīng)，進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 aNLkkkJg<;  
    I,:R~^qJ8v  
    系統(tǒng)說明 #00k7y>OyD  
    h5:>o  
    @4'bI)  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評估 !p4y@U{  
    .[1"3!T  
     一個激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個掃描儀單元和一個F-Theta物鏡，在一維掃描過程中（沿入射角Theta），通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 c)HHc0KD  
     此外，計算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 c~1X/,biA  
    l|O)B #  
    模擬和設(shè)計結(jié)果 i"h '^6M1  
    )<kI d4E  
    7I,/uv?  
    其他的VirtualLab特征 7h3#5Y  
     \GR M,c  
    在此案例中，你將從以下選擇的特征中獲益： :a 5#yh  
     各種探測器 #s!q(Rc  
    - 測量與反射鏡掃描角度相關(guān)的焦點位置 &7{/ x~S{  
    - 測量探測器平面上的光束位置 4r&S&^  
    - 使用焦點區(qū)域探測器計算焦點區(qū)域中的場 sUfYEVjr  
     參數(shù)耦合 QEavbh^S  
    - 針對掃描光學(xué)部分的期望輸入掃描角度Theta來調(diào)整反射鏡方位 x tJ_azt  
     參數(shù)運行 ?3{R'Buv]  
    - 估計掃描場尺寸 T