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UID：317649
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- 注冊時間2020-06-19
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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 m]7yc>uDy
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'r) 1. 建模任務(wù) mjBXa
/:yKa=$ Pb]s +1 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) J&8l1{gd X5>p~;[9  c/T]=S[
%I6 iXq# 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： %0:
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O$$s]R6 1. 圓柱的水平間距：250nm r<&d1fM;X 2. 圓柱的垂直間距：125nm z${ B| 3. 列距：125nm 7 |,5;
H1hj` '\"< 優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： '7xmj: .==
,6a'x~y<r 1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) *<Qn)Az 2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) '^7Sa
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