1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機(jī)，和當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的佳能光刻機(jī)相比，差距也就在四年左右�？上Ш罄m(xù)因?yàn)闆](méi)有投放到商用領(lǐng)域，以及科研經(jīng)費(fèi)的不足，為了促活經(jīng)濟(jì)，國(guó)內(nèi)開始采購(gòu)集成電路生產(chǎn)線設(shè)備，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研究，無(wú)奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。 (
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