各位大佬，磁控濺射鍍膜過程中的電子損傷能用什么辦法檢測(cè)出來(lái)嘛，電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛？

是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ ldha|s.*  
有些問題屬于小知識(shí)小竅門，網(wǎng)上問的到結(jié)果。 {n#k,b&9B  
有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來(lái)的獨(dú)有技術(shù)和工藝， d^03"t0O]  
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 FBx_c;)9Z  

ouyuu:是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ t78k4?  
有些問題屬于小知識(shí)小竅門，網(wǎng)上問的到結(jié)果。 U qG .:@T  
有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來(lái)的獨(dú)有技術(shù)和工藝， :W b j\  
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 +P.+_7+:  
 (2021-12-16 11:58)  Uj&W<'I  

+`?Y?L^ J  
好滴，謝謝。這個(gè)電子損傷主要是濺射沉積過程中產(chǎn)生的電子，包括二次電子，應(yīng)該不包括靜電。

這樣…… NcY608C  
我這邊只做過新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。 Df3rV