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    [討論]磁控濺射鍍膜電子損傷 [復(fù)制鏈接]

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    離線hxn123
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-15
    關(guān)鍵詞: 磁控濺射鍍膜
    各位大佬,磁控濺射鍍膜過程中的電子損傷能用什么辦法檢測出來嘛,電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛?
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2021-12-16
    是電子本身造成的損傷,還是二次電子造成的靜電損傷? 3*;S%1C^  
    有些問題屬于小知識小竅門,網(wǎng)上問的到結(jié)果。 ,V{Cy`bi  
    有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術(shù)和工藝, ?TEdGe\*  
    屬于保密范疇,網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 i\94e{uty[  
    離線hxn123
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-12-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:是電子本身造成的損傷,還是二次電子造成的靜電損傷? jUg.Y98  
    有些問題屬于小知識小竅門,網(wǎng)上問的到結(jié)果。 i!+Wv-  
    有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術(shù)和工藝, ;*=MI/"N  
    屬于保密范疇,網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。 $yY\[C  
     (2021-12-16 11:58)  R;2q=%  
    UxS@]YC  
    好滴,謝謝。這個電子損傷主要是濺射沉積過程中產(chǎn)生的電子,包括二次電子,應(yīng)該不包括靜電。
    離線ouyuu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2021-12-24
    這樣…… U#{^29ik=o  
    我這邊只做過新柯隆,他們家是先濺射再氧化的。 k,UezuV  
    氧化的時候多余的氧離子就可以把電子中和了,所以之前也沒有關(guān)注過這種問題。 s)<^YASg  
    你們能不能鍍膜的時候加上一個氧化源?
    離線hxn123
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-12-28
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:這樣…… 1dg