近日，基于對(duì)光柵衍射及其在超高精度干涉測(cè)距與成像應(yīng)用的深入研究，清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院李星輝副教授、王曉浩研究員團(tuán)隊(duì)?wèi)?yīng)邀撰文綜述高端光刻機(jī)光柵定位與套刻測(cè)量技術(shù)發(fā)展。 A+N%A]2