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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 NM3;l}Y8 IoDT
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g b_Y]U 光柵詳細(xì)說明 Y(PCc }/\
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 6<lo0PQ"Z %qc_kQ5% •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 6
5g ov or •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 `2.c=,S { oZBD.s 光柵階次分析器設(shè)置 '(vZfzc{J 0AB a&'h •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 Z
[!"x&H]h •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 0m_yW$w •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 (D>_O$o "jL>P )
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