請教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

補充氧氣，穩(wěn)定真空度。 n"c)m%yZ  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 aoTM  

但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？

APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大

xzaxd:但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34)  y0#u9t"Z;  

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理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

ouyuu:理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  ?~hHGf\^b6  

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明白了！謝謝版主

奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大 (2022-06-21 18:22)  Z>)Bp/-