目前,
激光位移傳感器按
原理可分成激光三角法和激光回波分析法。 激光三角法適合高精度短距離測量,激光回波分析法適用于遠(yuǎn)距離測量。在目前的工業(yè)
機(jī)器人應(yīng)用中,一般使用三角測量,這種方式的最高線性度可以達(dá)到1um,分辨率可以達(dá)到0.1um的水平。
Aq"<#: o5|P5h 三角測量法的原理是將可見紅色激光通過
透鏡射到被測物體表面,被物體反射的激光通過接收透鏡,被內(nèi)部的
CCD線陣相機(jī)接收。根據(jù)不同的距離,CCD線陣相機(jī)能夠從不同的角度進(jìn)行操作。 接下來“看到”這個光點(diǎn)。 從這個角度和已知的激光和相機(jī)之間的距離,數(shù)字信號處理器可以計(jì)算出傳感器和被測物體之間的距離。
o"