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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 sWr;%<K e ^O:I
 GB|>eZLv< ~p s,U 建模任務 l|WF S _,L_H[FN @FN|=?8% 仿真干涉條紋 (2# Xa,pb ]M *`Y[5" )&1v[] %S 走進VirtualLab Fusion MWv@]P_0p! $VHIU1JjZ  u4~+Bc_GL )\Q (=: VirtualLab Fusion中的工作流程 -H6[{WVW! 00 x - •設置輸入場 T5u71C_wmt
−基本光源模型[教程視頻] Ih:Q}V#6
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 4C 3_ gm
•定義元件的位置和方向 (S RY(q
− LPD II：位置和方向[教程視頻] _s5^\~a o
•正確設置通道以進行非序列追跡 |iH MAo
−非序列追跡的通道設置[用例] / rc[HbNg.
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 %cSx`^`6j
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] J]TqH`MA
^ 0YQlT98  O"'xAP QW lZ- U/$od VirtualLab Fusion技術 T<0
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