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高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 h#} w18l
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i)(G0/: 建模任務(wù) '{~[e** Kv1~ ,j6  k ?6d\Q 概述 5*A5Y E- /d6Rd l`w •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 _2`b$/)- •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 Op9 ^Eu%n >Q(\vl@N=
 s&o9LdL k kD# Bb 光線追跡仿真 hTO 2+F* ECM#J 28D •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 q$yg^:]2 •單擊go！ nG5\vj,zB •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 Y ~I >mc] Vf J{);
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