^U]UqX` 這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維
光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
KF4PJi;* fU!<HD h 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)
波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度
S偏振光照明的場(chǎng)矢量
qTQBt} 
P偏振光照明的場(chǎng)矢量 vB+ '
`=7j$#6U 后處理傅里葉變換計(jì)算透射
衍射級(jí)次的振幅。
%Z*sU/^ O(_[ayE 參數(shù)掃描
+>4;Z
