mT7B#^H 直接設(shè)計非近軸
衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作
波長在相同的數(shù)量級上。因此,設(shè)計過程超出了近軸建模方法。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計
結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴格的性能評估。
aU)NbESu U^n71m>]%T g{_wMf 7t@r}rC,K 設(shè)計任務(wù) qkEre k\qF> = 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計通過嚴格分析,進一步
優(yōu)化零階均勻性和影響
*&d>Vk."] K9*vWoP' _=wu>h&7 r}1.=a 光柵級次分析模塊設(shè)置 c89+}]mGq BXCB/:0 srh>"
2." 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個指導(dǎo)工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計的
參數(shù)。
R@+%~"Z O_M2Axm IsC`r7 lD%Fk3 !Rq.L 1. 通過應(yīng)用設(shè)計帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計,所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。2. 對于此轉(zhuǎn)換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。
R8*z}xy{ 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。4. 要在不同的
模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu),需要從組件內(nèi)部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。
j0XS12eM &RzkM4" )H'SU_YU 衍射分束器表面 V?.')?'V
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8$+mST'4N q,8TOn 為了進一步評估,使用了通用光柵
光學(xué)設(shè)置,其中加載之前保存的堆棧。光柵光學(xué)裝置提供了獨特的工具、組件和分析儀,以進一步研究給定周期結(jié)構(gòu)的特性和性能。
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