共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得
專利,后來以
激光作為
光源,現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光, 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中,我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描
顯微鏡,并使用具有變化的脊和槽的金屬
光柵作為測(cè)試對(duì)象來演示其工作
原理。
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m<3. X"- 5*Zz_ . 2. 建模任務(wù) "r@#3T$ fDns r"T 共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的,并且探測(cè)功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化?
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ty['yV-;a /c=8$y\%@ 3. 聚焦區(qū)域的探測(cè)場(chǎng) /]z#V'
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h]p u;nn:K1QFr 4. 來自測(cè)試對(duì)象的直接反射 =@4,szLO
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