與傳統(tǒng)光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中，我們設(shè)計了一個將入射光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成，并且在VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評估超光柵的衍射效率。 并且，我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。 APy&~`  
:'a |cjq  
9?@M Zh  
     {n2jAR9nq  
設(shè)計任務(wù) _fa2ntuS=f  
dN;C-XF3s  
62a{Ggs{  
LB U]^t@ M  
僅位相透射設(shè)計（IFTA） l.Qj?G  
-=2tKH`Q  
O