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d #y{eV$Q h:Npi
`y 斐索
干涉儀是工業(yè)上常用的一種
光學(xué)測(cè)量
儀器,常用于高
精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追跡技術(shù),我們建立了斐索
干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。
IgR_p7['. 5-5qm[.; 建模任務(wù) ,r:.
3.
OKxPf]~4E
C(7LwV w'?uJW 觀測(cè)傾斜平面 sW@4r/F>:D
(*^_wq-;
r]kLe2r:B <b{Le{QJ* 觀測(cè)柱面 }NiJDs
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kc1 *@<L6 !N?|[n1 觀測(cè)球面 .#lQZo6$\|
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