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當(dāng)光柵的特征尺寸與波長(zhǎng)相當(dāng)時(shí)，具有偏振相關(guān)的光學(xué)特性。這使得難以針對(duì)任意偏振設(shè)計(jì)出具有高衍射效率的光柵。根據(jù)文獻(xiàn)中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我們將展示如何嚴(yán)格分析光柵的偏振相關(guān)特性，以及如何使用參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)具有高衍射效率的偏振無關(guān)光柵。 2[po~}2-0  
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建模任務(wù) 6t:c]G'J  
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光柵特性與參數(shù)的嚴(yán)格分析 >e;STU  
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不同光柵周期下的衍射效率 Ra5'x)m36)  
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關(guān)于光柵周期選擇的考慮 |"qB2.[  

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偏振相關(guān)的衍射特性 =zeLs0s;  
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通過參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵設(shè)計(jì) QX.6~*m1  
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固定周期的2D參數(shù)優(yōu)化 NcBe|qxQ  
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2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計(jì)1 ' P`p.5nH  
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2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計(jì)2 2~WFLD  
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制造公差分析–設(shè)計(jì)2 ]Wd`GI  
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變化光柵周期的3D參數(shù)優(yōu)化 OZ!$%.?l  
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