3(!/["@7  
當光柵的特征尺寸與波長相當時，具有偏振相關的光學特性。這使得難以針對任意偏振設計出具有高衍射效率的光柵。根據(jù)文獻中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我們將展示如何嚴格分析光柵的偏振相關特性，以及如何使用參數(shù)優(yōu)化設計具有高衍射效率的偏振無關光柵。 Ecxj9h,S  
.3{[_iTM  
dD
/t_ {h  
4}Q O!(  
建模任務 :1aL9 fT  
\6 \hnP  
`'p`PyMt`  
光柵特性與參數(shù)的嚴格分析 5v|H<wPp  
yS[z2:!  
不同光柵周期下的衍射效率