最近接到新柯隆射頻離子源的中和器問題的問詢比較多，大多數(shù)問題和客戶一起解決了。 {gkwOMW  
新柯隆中和器因為是自匹配（沒有手調(diào)的地方），所以一旦發(fā)生問題，很多客戶都是一頭霧水。  Q9y*:  
我在這里普及一點我知道的知識，希望大家碰到問題的時候能夠給一些幫助。 hH4o;0rqJ  
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很多中和器問題的原因1：陰極的材質(zhì) (.^8^uc7X  
新柯隆老款是鎳，新款是鉭。（中間有摻雜，并非純的） %O) Z  
鎳的優(yōu)點是軟，容易修正形狀。但是鎳在300度以上很容易氧化。 QPg2Y<2  
我客戶新舊兩款中和器上，同樣的副廠鎳電極，同樣的冷卻時間。 23E0~O  
老款中和器穩(wěn)定運行，但是新款設(shè)備的鎳電極很快就氧化了。 W8/(;K`/  
（陶瓷杯內(nèi)部很多渣，產(chǎn)品表面麻點，中和器不穩(wěn)定） 8 lS($@@{  
估計是新老兩款中和器的溫度或者散熱速度不一樣。 1Ii| {vR  
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鉭的優(yōu)點是耐氧化，但是一旦加熱就會變脆，一旦變形無法修正。 p{H0dj