1z8AK"8 摘要 N;av "OKsl2e
5r\Rfma f,0oCBLPO 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例,在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
t7$2/C L_YY, 建模任務(wù) (Bfy
~u80v h'
HuL9' M /I'
np 由于組件傾斜引起的干涉條紋 dLu3C-.( \tg}K0E?R5
"(y|