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Bd;EI)JT 摘要 "]'W^Fg DAtAc(05) ,O^kZ}b Po\+zZjo 干涉測量法是一項用于 光學測量的重要技術。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、 機械和熱變形的高 精度測量。作為一個典型示例,在非 序列場追跡技術的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的馬赫-澤德 干涉儀。該例證明了 光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 YY7dw:>e/ VzcW9'"# 建模任務 @Y(7n/*
KO}TCa eSMno_Gt3 rXe+#`m2 由于組件傾斜引起的干涉條紋 ashVV~\8A qe0ZM-C_ 9~iDL|0'~ xFp9H'j{ 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 A/j'{X!z
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