翹曲度是實(shí)測(cè)平面在空間中的彎曲程度，以翹曲量來(lái)表示，比如絕對(duì)平面的翹曲度為0。計(jì)算翹曲平面在高度方向最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)距離為最大翹曲變形量。 #ba7r ]Xu  
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翹曲度計(jì)算公式： 8fA8@O}  
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晶圓翹曲度影響著晶圓直接鍵合質(zhì)量，翹曲度越小，表面越平整，克服彈性變形所做的工就越小，晶圓也就越容易鍵合。晶圓翹曲度的測(cè)量既有高精度要求，同時(shí)也有要保留其表面的光潔度要求。所以傳統(tǒng)的百分表、塞尺一類(lèi)的測(cè)量工具和測(cè)量方法都無(wú)法使用。 1s-=zs  
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以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1光學(xué)輪廓儀，專(zhuān)用于超精密加工領(lǐng)域，其分辨率可達(dá)0.1nm。非接觸高精密光學(xué)測(cè)量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，不僅能進(jìn)行更高精度測(cè)量，在整個(gè)測(cè)量過(guò)程還不會(huì)觸碰到表面影響光潔度，能保留完整的晶圓片表面形貌。測(cè)量工序效率高，直接在屏幕上了解當(dāng)前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數(shù)據(jù)。 u9j1>QU