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[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [復(fù)制鏈接]

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離線danieltsai06

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2022-12-01

機(jī)型:OPTORUN1850
AS膜厚15nm.
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎?
懇求指教!!!

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離線xzaxd

實(shí)習(xí)生

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蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

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danieltsai06

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2022-12-05

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離線ouyuu

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2022-12-01

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。

另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

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danieltsai06

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2022-12-05

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離線譚健

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路過學(xué)習(xí)看看呢

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離線xiezhizhi

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離線danieltsai06

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ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 5*buRYck0
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。 $!I$*R&
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36) zJ9ZqC]