1、奇數(shù)型達(dá)曼光柵設(shè)計(jì) 3xIelTf*  
以1*5分束比達(dá)曼光柵設(shè)計(jì)為例，分別以標(biāo)量衍射理論和矢量衍射理論來優(yōu)化設(shè)計(jì)，并且利用rsoft和virtuallab軟件來驗(yàn)證。 .G
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1）標(biāo)量衍射理論設(shè)計(jì) `92P~Y~`W  
運(yùn)用matlab編寫的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.3%，結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。 %* k`z#b  
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圖片:2.jpg

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  （a）達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)（坐標(biāo)已歸一化） X$2f)
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圖片:23.jpg

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（b）達(dá)曼光柵衍射效率 vf5q8/a  
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2）矢量衍射理論RCWA算法設(shè)計(jì) OKPNsN  
運(yùn)用matlab編寫的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.9%，結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。 `r'$l<(4WV  
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