近期，中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室報道了采用傾斜沉積技術將SiO2薄膜的折射率從1.45調整到1.15的精確控制，并制備了一種超寬帶的SiO2梯度折射率寬帶減反射膜。相關成果以“Broadband antireflection film by glancing angle deposition”為題發(fā)表在Optical Materials。 rR/PnVup  
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為了減少光學元件表面的反射，增加光在工作波段的透過率，獲得更好的光學性能，寬帶減反射膜被廣泛應用于許多光學系統(tǒng)中。傳統(tǒng)的寬帶增透涂料是采用高、低折射率薄膜疊加制備的，其能實現的減反射帶寬受限于材料折射率和膜系，很難實現超寬帶范圍內減反射效果。傳統(tǒng)防反射涂層的另一種替代方法是蛾眼效應，它通過蛾眼結構產生亞波長表面浮雕，可以在更寬的波長和角度范圍內實現防反射效果，但是浮雕的制備工藝復雜。而使用傾斜沉積制備薄膜，由于自遮擋效應，使得在大沉積角度下膜層是疏松多孔的，薄膜折射率發(fā)生變化，使薄膜折射率可調，可以實現更寬的減反射增透的效果。 TJ+yBMd*%  
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利用這一特性，課題組采用沉積角度從0°至80°時制備了不同沉積角度SiO2薄膜。給出了不同角度沉積SiO2薄膜的透過率曲線，根據這些曲線，得到不同傾斜沉積角度下膜層的折射率，根據擬合的折射率，設計了折射率和厚度非連續(xù)變化的變折射率膜系，并進行了增透膜的制備。其中，在400nm-1800nm范圍內，平均剩余反射率為0.41%，增透效果明顯，并且對于測試角度的變化體現出了角度不敏感的特性。變折射率制備的寬帶增透膜因其光譜范圍寬，光譜特性好，角度不敏感，在光學系統(tǒng)中有廣泛的應用。 1{_;`V  
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