激光干涉儀角度測量保證機(jī)床加工精度
目前,在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計(jì)數(shù)等方法來測量長度,這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動(dòng)測量等優(yōu)點(diǎn);诩す干涉儀技術(shù)的精密角度測量系統(tǒng),通過角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量,由此引起干涉條紋的變化,再通過相應(yīng)電路對干涉條紋進(jìn)行一系列處理,從而實(shí)現(xiàn)了對大轉(zhuǎn)角的精密測量。具有結(jié)構(gòu)簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數(shù)字化等特點(diǎn)。 |