這個25秒是什么意思？是說明書上說的25秒后開始監(jiān)控嗎？我感覺不是 FGwz5@|E  
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圖片:1675991535401.jpg

不穩(wěn)定的時間,一開始不穩(wěn)定25秒後必須要穩(wěn)定,不然發(fā)警報?

路過看看

剛開始鍍膜的時候，因為熱沖擊水晶片的速率是不穩(wěn)的。 -9aht}Z  
甚至因為升溫過快會有負速率。所以需要一個時間來緩沖。 dUe"qH29s  
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有一種辦法就是直接把鍍膜開始后幾秒內的膜厚清零，不知道是不是這種辦法。 l|&|+u#  
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這個問題，膜林的張博士是專家，他的答案應該是最準確的。

版主抬舉了。 I+<`}  
我公司晶控儀里有一個最大功率延遲時間，在材料第4頁。 ZO;]Zt]  
它有兩個作用， )b-G2< kb  
一是成膜開始后，在此時間內，實際最大功率從預熔功率線性變化到設定的最大功率。抑制速率過沖用。 t6"4+:c!>  
二是成膜開始后，在此時間內，如果有負速率，則丟棄因此產生的負厚度。正�？瓷先ハ窈穸惹辶恪Ｔ谂渲脜�數里設置此功能是否使用。用于部分補償溫度等效應引起的厚度偏差。 在有離子源輔助時會發(fā)現作用明顯，厚度一致性會提高。（這個丟棄的負厚度累積值作為內部過程參數會出現在 探頭與接口界面，每層重新累積。在我公司 MXC-3 晶控儀里，可以在未關機的情況下，編程發(fā)串口指令讀取一定層數的負厚度記錄，僅作為當時研究之用，沒有對外公布指令，有興趣的可以聯(lián)系）。 XSxya.1  
另外，如果我公司晶控儀設置成計算機控制，其將作為單層膜控制器使用，材料1的參數成為開機默認材料參數。 4({=(O  
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但這是客戶計算機上的設置，內部什么操作，我并不清楚。