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    [技術(shù)]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-27
    成像系統(tǒng)>包括光柵 wmpQF<  
    ?121 as}z  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 -8)C6"V{  
    Q>[{9bI4QP  
    6l,6k~Z9  
    h0-.9ym  
    亮點(diǎn) Y"ta`+ VJ  
    `D3q!e  
     ys!O"=OJ  
    _I)TO_L;  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） u/k' ry=  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 zvN7aG  
     考慮入射光的方向分布 YS4"TOFw  
    ,1~B7Z d  
    說明：光源 =H: N!!:  
    nVlZ_72d  
    &n]v  
    r}Vr_  
    說明：光束分束器 g[y&GCKY!=  
    bfUKh%!M  
    '"q+[zwv  
    ^69(V LK  
    說明：檢測(cè)透鏡系統(tǒng) )EYs+7/t  
    R,7.o4Wt  
    RK*tZ  
    XiV*d06{  
    說明：微型晶片 3f>9tUWhTy  
    O*2{V]Y @  
    UU}Hs}  
    I 8 ?  
    說明：檢測(cè)物鏡 RYl{89  
    \k$cg~  
    o8g] ho  
    n\7 >_  
    說明：探測(cè)器 J;V#a=I  
    K7$Q .  
    g \+!+!"~  
    xhCNiYJ|  
    結(jié)果：3D光線追跡（只有0級(jí)） <%4pvn8d?&  
    )-6>!6hZ  
    b;`MHEzw&q  
    XThU+s9  
    結(jié)果：3D光線追跡（所有級(jí)） #p{8  
    5s0`T]X-  
    +CQIm!Sp  
    `^g-2~  
    結(jié)果：光線追跡 G=Xas"|  
    ?+c-m+;wj  
     AHa]=ka>  
    AgDXpaq  
    結(jié)果：場(chǎng)追跡 ieO