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對于背光系統(tǒng)、光內連器和近眼顯示器等許多應用來說,將光高效地耦合到引導結構中是一個重要的問題。對于這種應用,傾斜光柵以能夠高效地耦合單色光而聞名。在本例中,提出了利用嚴格傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵的優(yōu)化方法。優(yōu)化后的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了其對光柵的傾角偏差和圓角邊緣的影響。 mae@L UIK4]cYC'
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