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光整形>衍射光學(xué) 2'0K WYM BRRj$)u 任務(wù)說明 ^eq</5q D ?=Pd ?)4?V\$ oA-:zz>wL 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): mu]as: ~ - 平滑的界面 +K",^6%1 - 量化界面 pJIv+ - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 F=a+z/xKT QCOo 亮點(diǎn) |,C#:"z; 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) lEjwgk { 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 y2L#:[8 >p\e0n m` AK~O2 一般界面的制造數(shù)據(jù) wucV_p.E <=K qcHb Dh|w^Q 22hSove. 支持文件格式: ]jMKC8uz - 純文本 >`RRP}u=u - ASCII碼 n||A" @b\ - 點(diǎn)云 k`KGB - CAD格式(例如,STL,IGES) OR6ML-| fT\:V5- STL導(dǎo)出平滑界面(例如Asphere) h!@,8y[B )Q;978: 采樣高度剖面的STL導(dǎo)出 5f'DoT `TqSQg_l ='?:z2lJ gJN0!N' 量化界面的GDSII導(dǎo)出 Q[n\R@ 量化的界面數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到GDSII的文件格式。 Rg&-0b 這個(gè)文件格式主要是用于,如光刻曝光技術(shù)。 LwqC~N B:TR2G9UT NR%Y+8^M
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