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    [討論]求助各位大佬，怎么才能過雙85環(huán)測(cè)？ [復(fù)制鏈接]

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    離線tfcalc68
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-03-17
    用MGF2+H4這兩種材料，什么工藝才能過雙85環(huán)測(cè)呀？ c< P ML|e  
    目前試過：設(shè)定溫度320℃，MGF2速率3.0A/S，H4速率1.5A/S，最后鍍15nm  SIO2，速率1.5A/S，MGF2打底層，高溫高濕脫膜，看上去像是最外層膜脫落 }>|M6.n "  
    也試過：320℃，MGF2速率5.0A/S，H4速率3.0A/S，最外層鍍10nm金剛膜，MGF2打底層，高溫高濕有亞克，太陽(yáng)輻照脫膜 V#Px