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Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

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[求助]低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成？ [復(fù)制鏈接]

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離線repent134

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-03-30

成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大

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離線yzhuang

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-03-30

這個(gè)Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些

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2024-03-04

離線repent134

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2023-03-30

主要SIO2打底層，掉膜也是掉到了基板

離線小時(shí)候_我很帥

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2023-03-30

離子源&充氧&電子槍速率方面看下

離線嚶?lián)糸L(zhǎng)空

實(shí)習(xí)生

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建議測(cè)一下溫度

離線石前林

實(shí)習(xí)生

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基片是否干凈，擴(kuò)散泵是否返油，第一層速率及離子源參數(shù)

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2024-03-04

離線ouyuu

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1，注意一下清洗，必要手擦幾片做比較。