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UID:317649
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- 注冊時間2020-06-19
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測量系統(tǒng) (N{ 應(yīng)用示例簡述 F5<GGEQb 1. 系統(tǒng)說明 $]b&3_O$N8 光源 .-:6L2 — 氙氣燈(部分相干白光) y9Q"3LLic` 組件 ]2xoeNF/W{ — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 BBsZPJ5 探測器 leEzfbb{'. — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) fG /wU$B 建模/設(shè)計 Y0nuwX*{ — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 7
P]Sc — 幾何場追跡Plus(GFT+): nmrdqSV 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 RH<C:!F^ 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 0Y\7A D"n
3If% 2. 系統(tǒng)說明 |Vc:o_n7 參考光路 CYC6:g|) 4?e7s.9N 3. 建模/設(shè)計結(jié)果
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