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測量系統(tǒng) rNrxaRQ 應用示例簡述 ?iw!OoZ`
1. 系統(tǒng)說明 2a-w%
(K 光源 \9 cbI3rGz — 氙氣燈(部分相干白光) H['N 組件 n&L+wqJ — 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測樣品 (] Z_UTT 探測器 AS!?q — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應 &b.=M>\9Q 建模/設計 cA2V2S) — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 j fP*"uUK — 幾何場追跡Plus(GFT+)： zpzK>DH( 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 ],>@";9u" 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 4qO+_!x{) 1 8|m)(W 2. 系統(tǒng)說明 n3T>QgK |
