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測量系統(tǒng) ,VS(4 E447'aJ 應(yīng)用示例簡述 +}O -WX? ulxfxfd 1. 系統(tǒng)說明 M^[;{p2uZ OKAU*}_ 光源 vP x/&x — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) TKM^ 元件 q[_qZ — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 Ly&+m+Gwu 探測器 kV+^1@" — 干涉條紋 dpTsTU!\ 建模/設(shè)計 tBbOxM
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