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VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 F' ZLN]"{
wxPg*R+t 很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有： d87pQ3e:&
hIa@J EIt 干涉儀 9;;1 "^4/ 光譜儀&單色儀 *>.~ f<V 表面計量系統(tǒng) 6<A \U/
aisX56Lc VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 }vO^%Gd
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