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    [技術(shù)]抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-20
    該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究,并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 1{. |+S Z!  
    5yo%$i8I  
    1. 建模任務(wù) vX"*4m>b?+  
    'ya{9EdlT  
     對全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 lh7#t#  
    @ioJ] $o7  
     假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。
    S Lj!v&'  
    2. 建模任務(wù):3維平頂錐 g2ixx+`?|:  
    k5e;fA/w  
    3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模  KC6.Fr{  
    b3[!V{|  
    69NeQ$](  
     VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 Lv7(st%`  
     A,<E\  
     例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 7U"g3 a)=  
    W,n!3:7 s  
     可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
    #A/  
    4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) p38-l'{#  
    Eyqa?$R  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): 6l x>>J!H  
    1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) :\c ^*K(9  
    2. 底部直徑:125nm "|q& ea rc  
    3. 周期尺寸:125nm o#Dk& cH  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù): rJ4S%6w  
    1. 高度(頂圓直徑=30nm) lgy <?LI\  
    2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 ]Q1yNtN  
    %)1?TU  
    5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 M FMs[+2_o  
    3(N$nsi  
    U9