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該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究,并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 1{.|+S Z! 5yo%$i8I 1. 建模任務(wù) vX"*4m>b?+ 'ya{9EdlT 對全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 lh7#t# @ioJ]$o7 假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 S Lj!v&' 2. 建模任務(wù):3維平頂錐 g2ixx+`?|: k5e;fA/w 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 KC6.Fr{ b3[!V{| 69NeQ$]( VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 Lv7(st%`
A,<E\ 例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 7U"g3a)= W,n!3:7s 可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
#A/ 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) p38-l'{# Eyqa?$R 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): 6l
x>>J!H
1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) :\c ^*K(9 2. 底部直徑:125nm "|q&ea rc 3. 周期尺寸:125nm o#Dk&
cH 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): rJ4S%6w 1. 高度(頂圓直徑=30nm) lgy<?LI\ 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 ]Q1yNtN %)1?TU 5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 M
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