3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級(jí)。智能化制造下，具有3D成像功能的機(jī)器視覺系統(tǒng)可以更快，更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。 I.KYWs  
IC}zgvcW  
運(yùn)用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器，大多是基于光學(xué)方法（干涉顯微法、自動(dòng)聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級(jí)測量，在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。 jb7=1OPD_  
5&}icS  
中圖儀器基于3D光學(xué)成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優(yōu)點(diǎn)，以光學(xué)測量技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，研發(fā)出了常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器等，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。 ="A[*:hC"  
vnN_csJ#^  
1、自動(dòng)聚焦法-影像測量儀 U">OdoZ,E+  
自動(dòng)聚焦法是基于幾何光學(xué)的物象共軛關(guān)系，能使得場景目標(biāo)在成像系統(tǒng)中準(zhǔn)確清晰成像的某種自動(dòng)調(diào)節(jié)過程，當(dāng)照明光斑匯聚在被測面時(shí)，進(jìn)一步調(diào)整檢測頭與表面的距離，直至光斑像尺寸最小而得到該被測位置的相對高度。 @=;6:akz`  
aNqVs|H  
Novator系列復(fù)合式影像儀是一款能充分發(fā)揮光學(xué)電動(dòng)變倍鏡頭高精度優(yōu)勢的全自動(dòng)影像測量儀。 ]6:5<NW  
· 支持點(diǎn)激光輪廓掃描測量，進(jìn)行高度方向上的輪廓測量； 8U;!1!+ 7)  
· 支持線激光3D掃描成像，可實(shí)現(xiàn)3D掃描成像和空間測量； aLsGden|  
· 支持頻閃照明和飛拍功能，可進(jìn)行高速測量，提升測量效率； Qb(
CH  
· 具有可獨(dú)立升降和可更換RGB光源，可適應(yīng)更多復(fù)雜工件表面。 Xrz0ch  
SQ.4IWT(hR  
2、共焦激光掃描顯微法-共聚焦顯微鏡 &McmA  
激光共焦掃描顯微術(shù)是一項(xiàng)高分辨率三維光學(xué)成像技術(shù)。利用精密共焦空間濾波結(jié)構(gòu)，通過物象共軛關(guān)系濾除焦點(diǎn)外的反射光，提高成像的可見度。共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個(gè)小孔，其中一個(gè)放在光源前面，另一個(gè)放在探測器前面。得到的圖像是來自一個(gè)焦平面的光通過針孔數(shù)碼相機(jī)聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。 c<H4rB  
I7uYsjh@u  
VT6000共聚焦顯微鏡具有粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能�；�于激光共聚焦顯微測量技術(shù)，配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，能在滿足精度的情況下使使用場景更具兼容性。在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。