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關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 QPz3IK%
m<:g\_< 1. 摘要 Eg]tDPN1 }& e#b]&:* 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 EwOi` g 通過來分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 Lq5Eu$;r 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 CDRz3Hu U 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 +{{'3=x9 9$N~OZ;-*x 2. 設(shè)計(jì)任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 inv 5>OeG !K_ ke h (>gHfC>(lq 設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 .h>tef 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° ?h|w7/9 最大衍射角(對角線)=30.1° DzK%$#{< An3%@; 3. 設(shè)計(jì)任務(wù) +Zi@+|"BCN ~HyqHxy 光源參數(shù): WH0$v#8`v — 高斯光源波長:532nm WB>M7MI% — 光束直徑(1/e2):80um #
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