這是一維周期線柵的簡(jiǎn)單案例。周期單元包含通過(guò)光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 FN#6pM']| 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。 KPGX/l S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度
P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 0/8rY BV
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 Cmq.V@
+ DWmutL 參數(shù)掃描 )C
@W_cfMN
mulK(mp Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對(duì)入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級(jí)次的強(qiáng)度： C-;y#a) x*H4o{o0 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時(shí)，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下線柵寬度依賴關(guān)系： ^y?7B_%:B# %$b)l? !
