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白光干涉儀可以測(cè)曲面粗糙度嗎？白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化，能實(shí)現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進(jìn)行輪廓尺寸分析。 a!4'}gHR  
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白光干涉儀的形貌測(cè)量，以表面形貌為主，即工件某一個(gè)表面上的微觀形貌： t~gnai  
1、微觀輪廓尺寸測(cè)量：主要是臺(tái)階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級(jí)，在驗(yàn)證上可以與原子力顯微鏡、臺(tái)階儀交叉驗(yàn)證。 >e"1a/2%>&  
2、粗糙度測(cè)量：白光測(cè)量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級(jí)別。面和線粗糙度測(cè)量，最高可確保0.1nm的測(cè)量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。 4e1Zyi!