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白光干涉儀可以測曲面粗糙度嗎？白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進(jìn)行輪廓尺寸分析。 ^ {f^WL=  
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白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌： Xf9%A2 iB  
1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。 _#mqg]W