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簡介 /"7_75
t 7\EY&KI"0 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展(EPE)系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 (aSY.#; #PA 9bM 在這個(gè)工作流程中,我們將使用3個(gè)軟件進(jìn)行不同的工作 ,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先,我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次,我們?cè)?OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng),并動(dòng)態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后,optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化,以實(shí)現(xiàn)整個(gè)出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 ^7V{nT@H3 ^
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