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簡(jiǎn)介 U9]&~jR z;+LU6V 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 c?XqSK`',Z "pW@[2Dkx/ 在這個(gè)工作流程中，我們將使用3個(gè)軟件進(jìn)行不同的工作 ，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先，我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次，我們?cè)?OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)，并動(dòng)態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過(guò)修改光柵模型來(lái)全面控制系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化，以實(shí)現(xiàn)整個(gè)出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 C:$pAE( $3D#U^7i 本篇文章將分為上下兩個(gè)部分。（聯(lián)系我們獲取文章附件） AB")aX2% E > J>|+W 概述 z1`z
k 0 F,>-+~L= 我們將首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中構(gòu)建仿真系統(tǒng)，它們是動(dòng)態(tài)鏈接的。 *^t7 ?f[ C8bv%9 然后，OpticStudio 通過(guò) Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang 進(jìn)行優(yōu)化，如圖1所示。 >S=,ype~G PHHX)xK  ~u+|NtF bf&k:.v'8 圖1 Lumerical 通過(guò)動(dòng)態(tài)鏈接到 OpticStudio，OpticStudio 通過(guò) Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang，優(yōu)化由 optiSLang 控制。 SE<hZLd" \jGvom. 如圖 2 所示，EPE 系統(tǒng)包括兩個(gè)用于耦入和耦出的光柵。耦出光柵分為幾個(gè)區(qū)，如左側(cè)所示。每個(gè)區(qū)都將經(jīng)過(guò)優(yōu)化，以具有不同的光柵形狀。右圖顯示了光在 k 空間中的傳播的變化情況。 ?Qfo mTT Fl;!'1  g"o),$ tm OJ2I (8P 圖 2 光柵布局圖以及光線(xiàn)在K空間的傳播 ;1[ Lwnm
j+7ok 5J# 第 1 步：系統(tǒng)設(shè)置 （Lumerical） [ [ 8.Xb DA -W =Cc 打開(kāi)附件中的 ZAR 文件時(shí)，兩個(gè)光柵文件會(huì)被提取到設(shè)置的路徑中。第一個(gè)光柵如圖 3 所示，它是耦入光柵中使用的二元光柵。該光柵是固定的，在優(yōu)化過(guò)程中不會(huì)改變。 U**v'%{s Z4aK  1l`$.
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