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簡介 $55U+) C< FVB;\'/ 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 4D$;KokZ P_gYz! 在這個(gè)工作流程中，我們將使用3個(gè)軟件進(jìn)行不同的工作 ，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先，我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次，我們在 OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)，并動態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化，以實(shí)現(xiàn)整個(gè)出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 Aj9Ji"18za 9'DtaTmGW 本篇文章分為上下兩個(gè)部分（點(diǎn)此查看上部分） ，下將詳細(xì)描述“第3步：優(yōu)化設(shè)置的內(nèi)容”。（聯(lián)系我們獲取文章附件） 3IR
^ ="%W 2 概述 !j1[$% =# nx:KoB"ny 我們將首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中構(gòu)建仿真系統(tǒng)，它們是動態(tài)鏈接的。 uNHdpni !ph" mf$-
然后，OpticStudio 通過 Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang 進(jìn)行優(yōu)化，如圖1所示。 aup6?'G; *9 Q^5;y  '.Ym!r~wL W%e_~$H0 圖1 Lumerical通 過動態(tài)鏈接到 OpticStudio，OpticStudio 通過 Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang，優(yōu)化由 optiSLang 控制。 [
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