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摘要 ]
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2 /U5!]7&gB %UokR" F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。 對于這樣的鏡頭,聚焦點沿目標平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中都會出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理光學建模和設計軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源,我們通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。 I$HO[Z! G24Ov&H 任務描述 !rZ r:@ ]<Kkq! urK~]68 Sahz*f
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